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  英國愛德華真空泵
Edwards_EH1200_2愛德華真空泵
     詳細描述:

 EH 機械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎,仍是最受歡迎的泵,可用於壓力範圍為 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的應用場合。此泵必須始終由另一個提供相對於大氣壓的高壓差的泵作為前級。
機械增壓泵在相對較低的壓力下工作,不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性製程介質下,因此高度可靠。

愛德華真空泵EH係列被廣泛應用於半導體製程、真空蒸餾、真空包裝、鋼脫氣、薄膜覆層、真空冶金、低密度風洞、空間模擬、真空浸漬、油幹燥和脫氣、製藥冷凍幹燥、CO2 激光
愛德華真空泵EH係列功能和優勢
1.適用於在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力範圍下、需要超過 3000 m3h-1/1776 ft3min-1 的高抽速的應用場合。
2.它可在相對較低的壓力環境下表現出更高的可靠性。
3.EH 泵具有高質量的無油泵送機械裝置。這可提供:
4.安靜的無振動運行。
5.牢靠且防腐蝕。
6.先進的軸封技術,處理艙中不會出現油汙染
7.防腐型泵送機械裝置采用高等級鑄鐵製造。
8.經驗證的軸封布置可確保沒有油進入泵送定子,並且由於不需要可能腐蝕或黏著的內部和外部旁通管道及閥門,因此可將維護要求降到最低。
9.軸封的設計經過優化,可確保潤滑劑無法進入泵送機械裝置中。這可在需要最高標準清潔程度的應用中保持增壓泵性能。此外,這可防止在公差非常嚴格的轉子葉和端麵上堆積吸入的微粒。
10.動態平衡的轉子和精密研磨齒輪有助於實現泵的平穩、運行噪音小,而這些特點正是先進技術設備的製造商所需要的。

 

EH1200

EH2600

EH4200

排量(工作容積)

1195 m3h-1 / 715 ft3min-1

2590 m3h-1 / 1525 ft3min-1

4140 m3h-1 / 2440 ft3min-1

使用前級泵時的有效抽速

840 m3h-1 / 495 ft3min-1

1750 m3h-1 / 1031 ft3min-1

3100 m3h-1 / 1825 ft3min-1

泵的壓力差

0-90 mbar/0-68 Torr

0-80 mbar/0-60 Torr

0-60 mbar / 0-45 Torr

進氣口連接

ISO160

ISO160

ISO250

出口連接

ISO100

ISO100

ISO100

轉速

0-2900 rpm

0-2900 rpm

0-2900 rpm

連續進氣口工作壓力

0-1000 mbar/0-760 Torr

0-1000 mbar/0-760 Torr

0-1000 mbar/0-760 Torr

最大出口壓力

1000 mbar/760 Torr

1000 mbar/760 Torr

1000 mbar/760 Torr

推薦的前級泵

GV160、GV250、
E2M80、E2M175

GV250、GV400、
E2M175、E2M275

GV400、E2M275

電機功率

     

碳氫化合物

3 kW/4 hp

11 kW/15 hp

11 kW/15 hp

PFPE

3 kW/4 hp

7.5 kW/10 hp

11 kW/15 hp

ATEX

3 kW

11 kW

11 kW

防爆

4 hp

15 hp

15 hp

環境溫度範圍

     

工作

5 至 40°C/40 至 104°F

5 至 40°C/40 至 104°F

5 至 40°C/40 至 104°F

存儲

-10 至 80°C/14 至 176°F

-10 至 80°C/14 至 176°F

-10 至 80°C/14 至 176°F

最大工作濕度

90% RH

90% RH

90% RH

推薦用油

Ultragrade 20

Ultragrade 20

Ultragrade 20

油容量

     

齒輪箱

1.25 l/1.3 qt

3.5 l/3.3 qt

3.5 l/3.3 qt

聯軸器蓋

1.5 l/1.6 qt

6.5 l/7 qt

6.5 l/7 qt

軸封儲油器

0.125 l/0.25 qt

1.5 l/1.4 qt

1.5 l/1.4 qt

重量

74 kg/163 lb

308 kg/679 lb