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電子廠真空係統的應用與選擇

添加時間:2019-05-27 10:00:06    查看:

真空泵機組閥門在真空裝置中,是為了分隔係統的各部分用的。按其工作特性,可分為預真空閥和高真空泵機組,兩者主要區別在於其出入口直徑尺寸和真空密封結構。前者的出入口直徑,一般在15-20毫米左右,多用真空橡皮墊圈密封,用於預真空部分,而後者的口徑為65、100、150、180毫米或更大些,密封多用金屬墊(特別是用於超高真空部分的閥門),隻有極限真空低於10-6托時,用橡皮密封才較多。它們在使用材料上,均廣泛應用黃銅、鋼、不鏽鋼等金屬,由於鑄造具有多孔性,故真空閥門都不用鑄件。 對於閥杆與蓋或與閥體的密封主要形式,不外乎橡皮的、金屬皺紋管的兩種,薄膜的(指在閥中用被青銅或鎳皮製成的,厚度為0.1-0.15毫米的皺紋薄膜密封,一般其往複行程為2-4毫米)用得較少。 在閥門孔處的密封(指關閉閥的密封),一般是用真空橡皮。用錐形閥盤(由軟質材料銀、鎳或黃銅製成)與圓往形閥座(用淬火鋼)的線狀緊密貼合密封,由於它的耐久性不好(如閥盤對閥座略為偏斜,密封表麵加工有缺陷,以及過份壓緊閥盤而擠壓閥座,都會使閥門不再嚴密而需修理).隻用於超高真空中。而油密封及液態金屬密封,除某些真空度要求高而導管尺寸不太大的係統外,應用也不多。
       在設計真空閥時,應充分注意到它的工作特性,合理設計結構和提出技術條件.滿足以下幾點主要要求: l)閥的任何地方都不應漏氣。 2)閥的連接部分和閥門處在關閉時的密封,應保證真空嚴密性和可靠性。密封零件最好可以更換。 3)閥的出入口及閥腔,應盡可能是直的,使氣流少轉彎,並在閥開啟時,有足夠大的空間供氣流通過,有良好的通導能力。 4)閥的開關操作應輕快方便,極位(開、關、放氣……)操作順序和轉動方向應加標誌並定位。 5)閥的全部金屬零件(特別是內表麵)應都是抗腐蝕的,蒸汽壓低的,表麵光潔的。 6)閥的結構應簡單和便於製造,注意焊縫應減少到最低限度。少用或避免用特殊加工及自己工廠條件難以加工的結構(如真空焊接)。 常見的真空閥的典型結構原理。它們的操縱動力,包括手動、氣動和電動等。 真空閥的結構形式,豐要分為單閥(包括二通和三通)。