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真空機組的應用與管路鋪設

添加時間:2019-06-15 16:17:54    查看:

真空泵機組渦旋泵已被廣泛應用於諸多範疇:①半導體職業:薄膜製作設備、半導體器材封裝設備;②科學儀器職業:同步輻射光束線機、電子顯微鏡、真空泵機組極光試驗設備、分析測驗儀器;③機械設備職業:資料製備設備、真空檢測設備、真空過濾設備、資料提純設備、超高真空排氣設備;④醫療設備職業:牙科儀器、透析機;生物製品職業:資料提純與藥品製備;⑤包裝職業:食物、藥品、生物製品等包裝設備;⑥真空冶金職業:真空爐、納米資料製備設備、真空檢測設備等範疇。渦旋泵作為分子泵和小型低溫泵的前級泵是取得無油真空係統的最佳裝備。它的首要運動件隻有一個動渦旋盤,因此動力傳遞簡略,相同尺度下運動半徑小、零部件少、結構簡略緊湊、整機尺度小,動、靜渦旋盤之間、動盤與泵腔之間空隙小,泵內運動件與泵腔無摩擦,所以幾乎無磨損,運行平穩,耗費功率小,氣體活動損失小,作業可靠性高、壽命長,易於維修,維修費用低,容積效率高。選用空氣冷卻,無需水冷。
           渦旋真空泵具有較高的緊縮比,在較寬的壓力範圍內具有穩定的抽速,因為緊縮腔容積的改變是接連的,因此驅動扭矩改變小,功率改變小,振蕩噪聲低,這是其他類型的幹式真空泵所不具備的。為完成渦旋泵有效作業的意圖,有必要使渦旋型線在各個真空氣腔傑出齧合,防止因為真空腔壓差大等因素導致渦旋壁受力狀況惡化、產生熱變形、排氣腔一部分高壓氣體滯留和真空泵效率降低等狀況。所以要保證渦旋型線之間的準確包容與齧合,控製作業介質的走漏,達到抽氣意圖。這是渦旋泵結構設計的重要依據。在泵的抽氣流道中,無須運用任何油類和密封液體作為介質,依托動、靜渦旋盤相對轉動構成吸氣腔和緊縮腔將被抽氣體排出,接連完成吸氣、緊縮和排氣進程。因此,怎麽防止走漏解決密封的問題尤為重要。渦旋泵的密封首要包括軸向齧合空隙的徑向密封,和徑向齧合空隙的切向密封,即齒側密封。